方案概述
在半導(dǎo)體、顯示面板的蝕刻工藝以及金屬表面處理的磷化流程中,會產(chǎn)生大量含有雜質(zhì)的廢磷酸液。這些廢酸若直接作為危廢處理,不僅成本高昂,更是對寶貴磷資源的巨大浪費,同時,高濃度磷排放會引發(fā)水體富營養(yǎng)化,破壞生態(tài)平衡。本方案采用預(yù)處理-精密凈化分離-除鋁設(shè)備-低溫蒸發(fā)設(shè)備的方式得到高濃度的磷酸,酸比重≥1.7,鋁離子去除率≥70%,回收率≥80%,回用于車間。
預(yù)處理單元:通過精密過濾等手段,有效去除廢酸中的懸浮顆粒物與膠體雜質(zhì)。
核心分離單元:采用國際先進的DTRO膜,選擇性分離酸和金屬鹽離子,實現(xiàn)磷酸與金屬雜質(zhì)的高效分離。
濃縮提純單元:將分離后的稀磷酸和除鋁設(shè)備產(chǎn)生的廢水混合后通過節(jié)能的MVR(機械蒸汽再壓縮)蒸發(fā)系統(tǒng)進行濃縮,最后再通過RO卷式膜系統(tǒng),提取高純度磷酸。
